主要零件材料

     閥體 、閥蓋 、閥杆 ：鋁合金 、碳鋼或不鏽鋼
     密封件 ：丁腈橡膠 、氟橡膠 、波紋管(軸封) 。

主要性能指標

適用範圍 ：
      1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
      1×10-5Pa～1.2×105Pa（氟膠圈密封）
打開時閥板上的壓差 ：
      ≤1.2×105 Pa任意方向
      閥體和閥座漏率 ：≤1.3×10-7Pa·L·s-1
      建議首次維修前循環次數 ：　200 ，000次
      閥體烘烤溫度 ：≤150℃
安裝位置
      -手動驅動 ：任意-氣動驅動 ：任意
      -電磁驅動 ：任意（波紋管密封） ；密封麵朝向真空（氟膠圈密封）
電源
      -氣動驅動 ：交流220V 50Hz ，6W或直流24V ，3W（特殊規格可定做）
      -電磁驅動 ：交流220V或230V 50Hz ，起動功率800W、保持功率8W
壓縮空氣（隻適用於氣動） ：0.4～0.7MPa
閥門開啟和關閉時間

       -氣動驅動 ：≤1s
       -電磁驅動 ：開啟≤0.1s ；
關閉≤1s（氟膠圈密封） 、關閉≤0.5s（波紋管密封）
閥門位置指示
       -手動驅動 ：帶有啟閉位置指示
       -氣動驅動 ：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
       -電磁驅動 ：帶有開啟位置指示燈